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FPD/LSI检查显微镜

  
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型
 集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到最新的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
最大观察样品:Ø300 mm晶片
 
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
 
使用CFI60光学系统,彻底消除耀斑影响,对比度更高,成象更加清晰、明亮;
物镜齐焦距为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;