特点和优势

触摸屏式人机界面，实时工艺监控

灵活的电极组合适用于不同类型的产品、组件或载具

具有自动匹配网络的13.56MHz射频电源保证出色的工艺重复性

方便的设施连接，便于满足验证过程中的定期校准要求

先进的等离子处理技术采用紧凑型台式结构

Nordson MARCH的AP-600系统设计用于提供异常均匀的等离子清洗和处理，具有无与伦比的易

用性、可靠性和低成本。

AP-600系统采用紧凑式设计，占地面积小。系统机箱内装有等离子腔、控制电子设备、13.56MHz射

频发生器和自动匹配网络(只有真空泵在系统外部)。日常维修保养可通过联锁门或可拆卸面板侧进入。

等离子腔由高品质的铝材制成，铝制装置具有卓越的耐用性。等离子腔最多支持7个可移动和可调节

的供电或接地电极，以适应不同的组件、部件和零件载具，包括料盒、托盘和晶舟。

等离子清洗、表面活化和粘着力改进

AP-600系统适用于各种等离子清洗、表面活化和粘着力改进应用,广泛用于半导体制造、微电子封

装和组装以及医疗器械及器件制造。

AP-600系统可以适应各种工艺气体，包括氩气、氧气、氢气、氦气和氟化气体。该系统标配两个质

流量控制器，以实现最佳气体控制，另有两个可选(最多四个)。

技术参数：AP-600 等离子系统