特点和优势

采用PLC控制，触摸屏式人机界面,实时工艺监控

灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct 或DownStream 模式等离子工艺

具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性

专有软件控制系统可记录工艺和生产数据，便于统计和工艺控制

最苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术

诺信MARCH的AP-1000系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计，可实现均匀等离子

体处理，安全稳定且操作简便。

Ap1000型采用紧凑式设计，占地面积小，真空泵、腔体和电气控制件以及13.56MHZ射频电源都整合在

设备内部，设备前部可方便完成操作维护，带有脚轮的真空泵装置方便检修。

等离子腔采用美规11标号的不锈钢和铝支架制造，坚久耐用。腔内可调整的电极组根据不同的产品载具，

包括料盒、托盘、晶圆、晶舟等可灵活组合配置。

提高了生产率，满足大容量生产力要求

搭配HTP(高产能)电极的AP-1000等离子系统是综合了March特有的电极设计和AP-1000的高可靠性及其优

良的工艺性。AP-1000 HTP充分利用了射频等离子产生的活性离子，不仅缩短工艺时间而且提高处理均

匀性。

AP-1000HTP配备4路气体流量控制器，因工艺需求可选用不同的气体包括氩气、氢气和氦气等。

开槽式料盒可竖放于工艺腔内，通常每个料盒最少可放置20条引线框，根据料盒尺寸大小，一炉可最多放置

12个料盒。

规格：AP-1000等离子系统